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Pre-Aligner预瞄准机SALN-612A-2V

关键字导读: TRACK ETCH CVD PVD MOCVD

形貌:定位精度下,瞄准速度快,网络化控制器,适用于Notch和Flat缺口范例,接纳真空背压吸附。

简介

Introduction

晶圆预对准是晶圆搬运和全部IC制造历程中的主要环节,晶圆的定位取辨认皆需求Pre-aligner的到场。晶圆预瞄准的目标是盘算晶圆的偏幸并找到其缺口,进而赔偿其偏幸并将缺口转至一预设偏向,为下一步的晶圆辨认或处置惩罚做好预备。新紧Pre-Aligner具有定位粗下、瞄准速度快等长处,大大收缩了晶圆的传输取处置惩罚工夫,进步了晶圆的消费效力。


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参数

Parameter


自由度数DOFT,Z
传感器范例SensorCCD
晶圆尺寸Wafer Size200mm/300mm
缺口范例 TypeNotch/Flat

角度定位精度Precision  of angle

±2°

中央定位精度Precision  of center

±1mm
瞄准工夫Position Time4S
清洁品级 Clean ClassClass  2

许可最大偏向

Maximum  mis-placement allowed
5mm
电源Power Supply24VDC/3A



Pre-Aligner图纸.PNG